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日本KITZ 1/4 寸零死區(qū)真空兼容高純隔膜閥 專為高純氣體場景設(shè)計,采用 316L EP 級不銹鋼材質(zhì),搭配 VFC 真空兼容 + 卡套連接方式。產(chǎn)品縮小閥門死區(qū),大幅提升氣體置換特性,真空兼容結(jié)構(gòu)可強制提升隔膜,防止真空封閉并加快開閥速度,支持自行更換提升部。90 度手柄操作便捷,高氣密性且無顆粒物產(chǎn)生,工作壓力 0.98MPa (G)、耐溫 - 10~80℃,廣泛適配半導體等。
日本KITZ開滋 高純度氣體外螺紋手動隔膜閥 是一款專為高純度氣體系統(tǒng)設(shè)計的手動零死區(qū)隔膜閥,1/4 英寸 CVC 外螺紋連接,標配 EP-316L 不銹鋼電解拋光材質(zhì),適配 0.5MPa 常壓工況。產(chǎn)品大幅縮小閥門關(guān)閉時的死區(qū)體積,氣體置換特性優(yōu)異,提升部可強制提隔膜,防真空封閉且加快開啟速度。支持用戶自行更換提升部,維護便捷,多層隔膜實現(xiàn)零泄漏密封,輕量化設(shè)計操作簡便,廣泛應(yīng)用于半導體、光伏。
開滋KITZ 原裝 超高純流體控制隔膜閥 ?專為超高純液體(如半導體 TEOS)控制設(shè)計。內(nèi)部流道 Ra≤0.125μm,確保流體純度。核心優(yōu)勢為用戶可自行更換閥座與隔膜,顯著降低維護成本。技術(shù)參數(shù):1/4“ F-CVC 連接,Cv 值 0.23,工作壓力 0.98MPa,工作溫度 - 10℃至 80℃。符合 SEMI 標準,適配半導體、FPD、LED 等精密制造,實現(xiàn)精準流量控制與零泄漏。
日本KITZ半導體光伏用低顆粒超高純隔膜閥 是半導體、光伏制程專用低顆粒超高純氣體控制閥門,閥體采用 EP 級電解拋光 316L 不銹鋼,經(jīng)高等級潔凈環(huán)境制造與內(nèi)面研磨,防顆粒性能優(yōu)異。產(chǎn)品采用緊湊直通設(shè)計,極小化內(nèi)部容積,實現(xiàn)氣體置換性,搭配專屬密封結(jié)構(gòu),大幅提升密封、耐腐與脫氣性能。1/4“VCR 連接,工作壓力 0.98MPa,適配各類超高純工藝氣體,是精密制造領(lǐng)域超高純流體傳輸?shù)目煽窟x擇。
日本KITZ隔膜閥低顆粒超高純氣體系統(tǒng)適配 專為低顆粒超高純氣體系統(tǒng)與半導體用 TEOS 等高純液體材料設(shè)計。閥體為 EP 級電解拋光 SUS316L 不銹鋼,內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.4μm,確保超高純流體控制。獨特密封機制實現(xiàn)氣密性、耐久性與吹掃性能,適配嚴苛潔凈工藝。用戶可快速更換密封圈,無需專業(yè)工具,大幅降低維護成本與停機時間。廣泛應(yīng)用于半導體、液晶面板、光伏等行業(yè)。
晶圓制造日本KITZ隔膜閥 防顆粒高潔凈 采用 316L 不銹鋼閥體,可選 EP 電解拋光處理,適配超高純工況。搭載 VFC 精準流量控制功能,零死角無積液流路設(shè)計,從源頭降低顆粒污染風險,匹配晶圓制程中高純工藝流體輸送需求。支持免工具更換閥座,維護便捷,密封性能優(yōu)異且無泄漏,滿足半導體潔凈室嚴苛標準,是晶圓制造高純流體控制的優(yōu)選閥件。
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