日本KITZ半導(dǎo)體光伏用低顆粒超高純隔膜閥

是半導(dǎo)體、光伏制程專用的低顆粒超高純氣體控制閥門，閥體采用 EP 級(jí)電解拋光 316L 不銹鋼，經(jīng)高等級(jí)潔凈環(huán)境制造與內(nèi)面研磨，防顆粒性能優(yōu)異。產(chǎn)品采用緊湊直通設(shè)計(jì)，極小化內(nèi)部容積，實(shí)現(xiàn)氣體置換性，搭配專屬密封結(jié)構(gòu)，大幅提升密封、耐腐與脫氣性能。1/4"VCR 連接，工作壓力 0.98MPa，適配各類超高純工藝氣體，是精密制造領(lǐng)域超高純流體傳輸?shù)目煽窟x擇。

日本KITZ半導(dǎo)體光伏用低顆粒超高純隔膜閥

是專為半導(dǎo)體、光伏精密制程研發(fā)的低顆粒超高純氣體控制核心部件，隸屬KD系列低壓隔膜旗艦型號(hào)，以“低顆粒、高潔凈、高耐久"為核心定位，適配超高純氣體傳輸系統(tǒng)，憑借緊湊結(jié)構(gòu)與性能，成為半導(dǎo)體晶圓制造、光伏電池片生產(chǎn)等領(lǐng)域的優(yōu)選流體控制解決方案。

在結(jié)構(gòu)與材質(zhì)工藝上，該閥門采用突破性無(wú)彈簧、無(wú)O型圈接觸介質(zhì)結(jié)構(gòu)，從源頭杜絕傳統(tǒng)閥門因彈簧摩擦、O型圈老化產(chǎn)生的顆粒脫落問(wèn)題，嚴(yán)格符合SEMI F57低顆粒行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，限度保障工藝介質(zhì)潔凈度。閥體通體選用EP級(jí)電解拋光SUS316L不銹鋼，經(jīng)高等級(jí)內(nèi)面研磨處理，內(nèi)表面粗糙度達(dá)Ra≤0.4μm，有效減少流體滯留與顆粒吸附區(qū)域，同時(shí)避免金屬離子析出，從材質(zhì)層面杜絕介質(zhì)污染，適配各類強(qiáng)腐蝕性超高純工藝氣體。

閥門采用直通二通緊湊設(shè)計(jì)，限度縮小閥體縱向開(kāi)孔尺寸，使內(nèi)部容積極小化至1.36cm3（1/4"CVC外螺紋開(kāi)啟狀態(tài)），大幅提升氣體置換效率，解決傳統(tǒng)閥門流體殘留、吹掃行業(yè)痛點(diǎn)，尤其適配對(duì)介質(zhì)純度要求的半導(dǎo)體沉積、刻蝕工藝。其接觸氣體部位密封結(jié)構(gòu)，搭配PCTFE標(biāo)準(zhǔn)密封材質(zhì)（可按需選配PFA/PI特殊材質(zhì)），不僅顯著提升密封性能與耐腐蝕性，更優(yōu)化了脫氣性能，避免密封部件對(duì)超高純氣體的二次污染，氦氣泄漏率可達(dá)≤1×10?1?Pa·m3/s，確保介質(zhì)零泄漏傳輸。

關(guān)鍵性能參數(shù)適配性高，閥門采用1/4" M-CVC（VCR）連接方式，適配超高純系統(tǒng)管道的無(wú)泄漏快速拆裝；流量系數(shù)Cv=0.27，可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)流量控制，滿足不同工藝階段的氣體輸送需求；工作壓力可達(dá)0.98MPa，工作溫度范圍為-10℃~80℃，環(huán)境溫度適配-10℃~60℃，兼容半導(dǎo)體、光伏制程的常規(guī)工況，可穩(wěn)定適配SiH?、NH?、H?等各類超高純工藝氣體。

在行業(yè)適配與應(yīng)用場(chǎng)景上，該閥門針對(duì)性優(yōu)化了低顆粒與高潔凈性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造（薄膜沉積、干法刻蝕、濕法清洗等工序）、光伏電池片生產(chǎn)（PECVD、LPCVD工藝氣體控制）、液晶面板TFT-LCD制程等領(lǐng)域，既能滿足半導(dǎo)體7nm及以下制程對(duì)氣體純度的嚴(yán)苛要求，也能適配光伏行業(yè)高效電池片生產(chǎn)的潔凈度需求。維護(hù)層面，閥門采用標(biāo)準(zhǔn)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，零部件通用性強(qiáng)，后續(xù)維護(hù)便捷，無(wú)需專業(yè)工具即可完成常規(guī)檢修，大幅縮短設(shè)備停機(jī)時(shí)間，降低運(yùn)維成本；同時(shí)嚴(yán)格挑選隔膜材料并采用成型方法，杜絕加工個(gè)體差異，實(shí)現(xiàn)高耐久性能，延長(zhǎng)閥門使用壽命。

作為日本產(chǎn)品，WD4CS-VC隔膜閥全程在Class 100潔凈室完成生產(chǎn)與組裝，遵循KITZ SCT嚴(yán)格的質(zhì)量管控體系，每臺(tái)閥門出廠前均經(jīng)過(guò)100%氦質(zhì)譜檢漏與顆粒測(cè)試，確保產(chǎn)品性能符合超高純應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。其兼具緊湊結(jié)構(gòu)、精準(zhǔn)控制、便捷維護(hù)與高可靠性的核心優(yōu)勢(shì)，平衡了精密制程的嚴(yán)苛要求與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體、光伏行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供穩(wěn)定、可靠的流體控制支撐。