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KITZ日本開滋
ZCD4CS-VC不銹鋼KITZ氣動(dòng)隔膜閥半導(dǎo)體高純度氣體閥
產(chǎn)品型號(hào):ZCD4CS-VC
更新時(shí)間:2026-02-03
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:233
服務(wù)熱線13548726171
產(chǎn)品分類
不銹鋼KITZ氣動(dòng)隔膜閥半導(dǎo)體高純度氣體閥
采用 SUS316L 不銹鋼電解拋光材質(zhì)與 PCTFE 密封,適配高純度氣體輸送。產(chǎn)品縮小閥門死區(qū),大幅提升氣體置換特性,配備強(qiáng)制提升結(jié)構(gòu),可防隔膜封閉真空、加快開啟速度,且提升部件支持用戶自行更換。專為半導(dǎo)體、FPD、LED 制造及醫(yī)療等高潔凈要求場(chǎng)景設(shè)計(jì),氣動(dòng)控制適配工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng),是精密氣體控制的核心部件。
不銹鋼KITZ氣動(dòng)隔膜閥半導(dǎo)體高純度氣體閥
屬于高純度氣體控制專用零死區(qū)氣動(dòng)隔膜閥,專為半導(dǎo)體、液晶面板(FPD)、醫(yī)療制藥等對(duì)氣體純度和置換特性要求工業(yè)領(lǐng)域設(shè)計(jì),是實(shí)現(xiàn)精密氣體輸送與控制的關(guān)鍵核心部件,完整常用型號(hào)為ZCD4CS-VC-EP-316L。
該產(chǎn)品型號(hào)可精準(zhǔn)拆解核心參數(shù):ZCD代表ZERO內(nèi)容積零死區(qū)系列,主打死區(qū)控制;4表示1/4英寸(約6.35mm)連接尺寸,適配小型高精密管路;CS代表氣動(dòng)執(zhí)行器與直筒式二通閥結(jié)構(gòu),支持自動(dòng)化遠(yuǎn)程控制;VC表示采用M-CVC公頭接口,連接緊密且適配高純度氣體輸送場(chǎng)景;后綴EP-316L則明確其采用電解拋光(EP)表面處理與SUS316L不銹鋼閥體,滿足超高潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
核心優(yōu)勢(shì)集中在零死區(qū)設(shè)計(jì)與高適配性,閥門關(guān)閉時(shí),從密封圈到主流路的死區(qū)較傳統(tǒng)KD系列減少86%,可限度減少殘留氣體,避免交叉污染,大幅提升氣體置換效率,這也是其區(qū)別于普通隔膜閥的核心亮點(diǎn)。同時(shí)配備強(qiáng)制提升結(jié)構(gòu),能強(qiáng)制提升隔膜,有效防止隔膜封閉真空,加快閥門開啟速度,適配頻繁開關(guān)的工業(yè)自動(dòng)化場(chǎng)景;提升部件支持用戶自行更換,無需專業(yè)拆機(jī),大幅降低維護(hù)成本與停機(jī)損耗。
規(guī)格參數(shù)貼合工業(yè)需求,閥體采用SUS316L不銹鋼,耐腐蝕、抗磨損,密封材質(zhì)選用PCTFE,適配高純度、非腐蝕性氣體輸送;流導(dǎo)系數(shù)(Cv)約0.1,工作壓力0.98MPa,適用流體溫度范圍為-10℃~80℃,環(huán)境溫度范圍-10℃~60℃,操作方式為氣動(dòng)控制,可選擇雙作用或彈簧復(fù)位,適配不同自動(dòng)化控制系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域聚焦高潔凈、高精度場(chǎng)景,在半導(dǎo)體制造中,用于晶圓蝕刻、沉積等工藝的特種氣體控制;液晶面板生產(chǎn)中,適配顯示面板制造的高純度氣體輸送;醫(yī)療制藥領(lǐng)域,可用于高精度分析儀器與制藥潔凈氣體控制;同時(shí)也適用于光伏、LED制造、光纖生產(chǎn)等對(duì)氣體純度要求嚴(yán)苛的行業(yè)。
與同類產(chǎn)品相比,其價(jià)格高于普通KD系列(低5%-10%)和手動(dòng)ZCD4QS系列(低20%),核心差異在于零死區(qū)設(shè)計(jì)與氣動(dòng)控制優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品為日本,通常提供12個(gè)月質(zhì)保,標(biāo)準(zhǔn)貨期4-6周,現(xiàn)貨價(jià)格略高,適合對(duì)氣體純度、控制精度有要求工業(yè)場(chǎng)景,是兼顧性能、可靠性與便捷性的高純度氣體控制優(yōu)選部件。全文約800字,精準(zhǔn)覆蓋產(chǎn)品核心信息,適配電商詳情、采購(gòu)參考等場(chǎng)景。
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