中村庫存高精度三次元坐標(biāo)量測MITUTOYO三豐

適配半導(dǎo)體、精密模具等微米級(jí)測量需求。采用結(jié)晶化玻璃光柵尺，分辨率達(dá) 0.02μm，初項(xiàng)精度 0.7μm，18-22℃環(huán)境下主動(dòng)溫度補(bǔ)償保障穩(wěn)定精度。高剛性框架配空氣軸承，3 軸加速度 2598mm/s2，掃描速度 3mm/s，支持多測頭切換與 5 軸聯(lián)動(dòng)掃描。搭載 M - Apex 系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)智能路徑規(guī)劃與數(shù)據(jù)追溯，助力精密制造高效質(zhì)檢。

中村庫存高精度三次元坐標(biāo)量測MITUTOYO三豐

是面向半導(dǎo)體、精密模具等微米級(jí)測量場景的旗艦級(jí) CNC 三次元坐標(biāo)測量儀，憑借超高精度、高速驅(qū)動(dòng)與智能系統(tǒng)，適配精密制造全流程的嚴(yán)苛質(zhì)檢需求，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)高效精準(zhǔn)的質(zhì)量管控。

核心硬件與精度保障

儀器采用結(jié)晶化玻璃光柵尺，X/Y/Z 軸分辨率達(dá) 0.02μm，搭配高性能反射式線性編碼器，初項(xiàng)精度達(dá) 0.7μm，幾何精度穩(wěn)定性達(dá) 0.8μm/m。內(nèi)置 32 個(gè)溫度傳感器，在 18-22℃環(huán)境下通過主動(dòng)溫度補(bǔ)償算法，將溫度影響控制在 ±1.5μm/°C 內(nèi)，有效抵消環(huán)境溫度波動(dòng)對測量結(jié)果的干擾。機(jī)身采用 STRATO 高剛性框架結(jié)構(gòu)與三點(diǎn)支撐設(shè)計(jì)，搭配自動(dòng)調(diào)平空氣彈簧減震單元，可減少地面振動(dòng)影響，保障高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的測量穩(wěn)定性。3 軸加速度達(dá) 2598mm/s2，驅(qū)動(dòng)速度519mm/s，掃描速度 3mm/s，兼顧測量效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度。

智能系統(tǒng)與測量適配

搭載 M - Apex 智能控制系統(tǒng)，支持 5 軸聯(lián)動(dòng)掃描，具備實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償、自適應(yīng)路徑規(guī)劃與智能碰撞防護(hù)功能，系統(tǒng)響應(yīng)速度較上一代提升 40%，測量效率提高 35%。UC480 控制器支持接觸式、非接觸式激光測頭、視覺測頭等多傳感器自由切換，適配不同材質(zhì)、形狀工件的測量需求，如微小電子元件用視覺測頭、模具曲面用掃描測頭，混合測量模式可使效率提升 50% 以上。同時(shí)，集成 MeasurLink 數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)采集、可視化呈現(xiàn)與全程追溯，適配智能工廠數(shù)字化管理需求。

型號(hào)規(guī)格與應(yīng)用場景

該系列型號(hào)豐富，包括 574、776、9106、9108 等，測量行程覆蓋 500mm×700mm×400mm 至 900mm×1000mm×800mm 等多種規(guī)格，工作臺(tái)承重適配不同尺寸工件，滿足從微小半導(dǎo)體封裝件到大型精密機(jī)械部件的測量需求。實(shí)際應(yīng)用中，可用于航空航天葉片、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)精密零件、半導(dǎo)體晶圓等產(chǎn)品的尺寸、形位公差檢測，也能配合自動(dòng)化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)在線檢測，快速識(shí)別生產(chǎn)過程中的質(zhì)量問題，減少不良品流出，提升整體生產(chǎn)效益。